本報記者 宋智輝
隨著(zhù)湖南長(cháng)沙惠科超高純氣體供應項目現場(chǎng)調試指揮部傳來(lái)一個(gè)簡(jiǎn)單的數據——1ppb（即十億分之一的雜質(zhì)含量，目前國內最高質(zhì)量標準），遠在廣東廣州的廣鋼氣體遠程數字化中心沸騰了。所有人都在密切地關(guān)注著(zhù)調試過(guò)程，每一個(gè)參數的跳動(dòng)都牽動(dòng)著(zhù)大家的心跳。這是廣鋼氣體自主研發(fā)的Super-N系列超高純制氮系統優(yōu)化后取得的巨大進(jìn)步，也是該專(zhuān)利產(chǎn)品被投入商業(yè)化實(shí)踐后，助力攻克電子氣體“卡脖子”技術(shù)取得的重大突破。
滿(mǎn)足國內最高質(zhì)量標準
打響本土氣體品牌
作為國內第一家具有超高純電子大宗氣體供應服務(wù)能力的氣體企業(yè)，廣鋼氣體繼2018年打破外資壟斷、成功中標安徽滁州惠科公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“惠科公司”）超高純氣體項目后，持續發(fā)力改進(jìn)技術(shù)與設備。2020年，該公司在電子氣體業(yè)務(wù)板塊再開(kāi)新局，成功拿下長(cháng)沙惠科超高純大宗氣站供應項目。
作為惠科公司在全國布局的第4個(gè)生產(chǎn)基地，該項目是湖南長(cháng)沙瀏陽(yáng)經(jīng)濟技術(shù)開(kāi)發(fā)區建設大尺寸超高清顯示屏及OLED顯示屏生產(chǎn)線(xiàn)的重要供氣配套設備，總投資額為320億元。其建成后可為長(cháng)沙惠科提供ppb級的超高純氣體，并確保其可供性達到100%。該項目在今年3月31日進(jìn)入調試收尾階段，制氮機氮氣產(chǎn)量達13400立方米/小時(shí)，產(chǎn)品純度達1ppb，比起初合同約定的供氣時(shí)間整整提前了1個(gè)月。
填補國內技術(shù)空白
提供“中國芯”保障
高純氮氣是電子行業(yè)不可缺少的基礎性原材料，可用于制造超大規模集成電路、液晶顯示器件、半導體發(fā)光器件和半導體材料等。
廣鋼氣體Super-N系列超高純制氮系統，是國內首套具有自主知識產(chǎn)權的超高純氣體制取系統，創(chuàng )造了國內超高純后備系統供氣的最短用時(shí)紀錄。該系統在2019年成功投產(chǎn)，并于2021年初獲得國家頒發(fā)的發(fā)明專(zhuān)利證書(shū)。經(jīng)優(yōu)化設計后，該系統在長(cháng)沙惠科超高純氣體供應項目再次成功實(shí)踐，填補了國內制氮裝置出冷箱雜質(zhì)1ppb的空白，滿(mǎn)足了目前國內芯片項目對制氮裝置出冷箱產(chǎn)品最嚴格的純度要求，是廣鋼氣體發(fā)展歷程中里程碑式的技術(shù)進(jìn)階，為進(jìn)一步實(shí)現“廣鋼氣體制造中國芯”的目標提供了硬件保障。
打破外資制約
攻克行業(yè)“卡脖子”難題
2021年3月份，工信部等多個(gè)部委召開(kāi)工業(yè)氣體“卡脖子”技術(shù)問(wèn)題協(xié)調工作會(huì )議，協(xié)調推進(jìn)解決制約行業(yè)發(fā)展的“卡脖子”技術(shù)問(wèn)題，并指出當前電子氣體市場(chǎng)受制于外資品牌的發(fā)展困境。
廣鋼氣體積極打破行業(yè)壁壘，在與一眾外資巨頭的競爭中培育出內資氣體品牌的發(fā)展優(yōu)勢。近幾年，其發(fā)展勢頭更加強勁，其中電子氣體業(yè)務(wù)發(fā)展迅猛，在平板顯示、芯片等半導體領(lǐng)域均取得了亮眼的成績(jì)，頻頻獲得業(yè)內的關(guān)注與認可。目前，廣鋼氣體已分別在深圳、滁州建設了3套國內領(lǐng)先的ppb級超高純氮氣空分裝置，及ppb級大宗氣體純化系統，形成了強有力的技術(shù)堡壘。下一步，廣鋼氣體將充分整合廣州工控資源條件，打造差異化競爭優(yōu)勢，助力解決電子氣體“卡脖子”技術(shù)難題，打破半導體高端領(lǐng)域氣體材料的進(jìn)口制約，集中力量賦能“中國芯”。
《中國冶金報》（2021年5月12日 08版八版）
